视频演示

10

要求针对本项目提交以下产品的视频演示，视频演示须满足以下功能：

1.教学用芯片光刻机实验舱

视频演示要求：
（1）金属膜玻璃基掩膜版制备：采用光刻机内置模块，完成金属镀膜玻璃基掩膜版制作；图案需包含线宽最细15微米的线条，以及项目名称与编号；全程无有害气体排放，兼具安全性与环保性。（2分）

（2）硅基PN结制备与测试：以自制的金属膜玻璃基掩膜板为模板，采用光刻机内置模块完成硅基 PN 结制备，并测试其单向导电特性。（2分）
2.芯片生产工艺流程演示仪

视频演示要求：

投标人就产品提供对应功能的实物视频演示。演示内容包括：

（1）光刻模块：采用紫色聚光灯模拟极紫外激光束的光刻环节，光线透过透镜把图案投影到盘片上，盘片表层油墨变色显示出图案。样品台上有光刻前后的实物。（2分）

（2）刻蚀模块：演示湿法刻蚀的过程，盘片通过滑台升降，下方刻蚀槽设有屏幕，采用虚实结合技术，动态展示湿法刻蚀的过程。样品台上分别有刻蚀前后的实物。（2分）

（3）搭桥模块：采用机械手模拟搭桥过程，把真实的搭桥动作缓慢化，方便清楚观察到拾片、移动、放片的全过程。样品台上有搭桥前后的实物以供观看。（2分）

需对应以上需求功能逐项进行演示，每个视频演示时间不超过10分钟，不得采用PPT、图片、静态页面等演示方式，要求中文普通话配音，超时长、无演示、不符合参数功能要求的不得分。

视频演示

10

要求针对本项目提交以下产品的视频演示，视频演示须满足以下功能：

1.教学用芯片光刻机实验舱

视频演示要求：
（1）金属膜玻璃基掩膜版制备：采用光刻机内置模块，完成金属镀膜玻璃基掩膜版制作；图案需包含线宽最细15微米的线条，以及项目名称与编号；全程无有害气体排放，兼具安全性与环保性。（2分）

（3）硅基PN结制备与测试：以自制的金属膜玻璃基掩膜板为模板，采用光刻机内置模块完成硅基 PN 结制备，并测试其单向导电特性。（2分）
2.芯片生产工艺流程演示仪

视频演示要求：

投标人就产品提供对应功能的实物视频演示。演示内容包括：

（1）光刻模块：采用紫色聚光灯模拟极紫外激光束的光刻环节，光线透过透镜把图案投影到盘片上，盘片表层油墨变色显示出图案。样品台上有光刻前后的实物。（2分）

（2）刻蚀模块：演示湿法刻蚀的过程，盘片通过滑台升降，下方刻蚀槽设有屏幕，采用虚实结合技术，动态展示湿法刻蚀的过程。样品台上分别有刻蚀前后的实物。（2分）

（3）搭桥模块：采用机械手模拟搭桥过程，把真实的搭桥动作缓慢化，方便清楚观察到拾片、移动、放片的全过程。样品台上有搭桥前后的实物以供观看。（2分）

需对应以上需求功能逐项进行演示，每个视频演示时间不超过10分钟，不得采用PPT、图片、静态页面等演示方式，要求中文普通话配音，超时长、无演示、不符合参数功能要求的不得分。

备注：

1）视频演示内容须以U盘为载体（U盘须无毒并可正常打开），使用一个密封封套进行包装，并在封套上注明“视频演示”字样；在封套的封口处必须加盖投标人公章或授权代表签名。

2）递交时间：开标当天且在投标文件递交截止前（北京时间）。

3）递交方式：由投标人代表在规定时间内以密封包装当面递交。

4）递交地点：佛山市公共资源交易中心南海分中心开标2室211（详细地址：广东省佛山市南海区桂城街道夏南路58号方舟一号建筑产业中心大楼2层）